半導体ペリクル企業エフエスティ(FST)は、フィンランドのカナトゥから炭素ナノチューブ(CNT)ペリクル生産設備を追加で確保する。これは、サムスン電子の2ナノメートル(㎚)ファウンドリプロセスに適用するCNTペリクルの量産に備え、生産能力を強化するためと考えられる。CNTペリクル事業は技術開発を超え、量産準備段階に入ったとの分析が出ている。
25日、投資銀行(IB)業界によると、エフエスティはフィンランドのCNT技術企業カナトゥにCNTペリクル生産用「CNT100 SEMI」設備を発注した。この注文は、エフエスティが今年初めに発注した長納期品目の後続である。製作期間が長い部品を先に確保した後、設備本体まで注文したことで、CNTペリクル生産量を増やすための投資が本格化したことを示している。
カナトゥによれば、既存の長納期品目を含む契約金額は500万ユーロ（約80億円）以上である。技術ロイヤリティや消耗品販売などから発生する売上は含まれていない。設備は2027年にエフエスティに納入される予定である。
CNT100 SEMIはCNTペリクルの核心素材であるCNT膜を製造する設備である。エフエスティはカナトゥの設備と技術を活用し、極紫外線(EUV)プロセスに使用されるCNTペリクルを開発している。
ペリクルは半導体回路を刻む際に使用するマスクを、ほこりなどの異物から保護する薄い膜である。半導体回路が微細化するにつれて、小さな異物も不良につながる可能性があるため、ペリクルの重要性が増している。特にEUVプロセスでは、強い光に耐えつつ光をよく通すペリクルが必要である。CNTペリクルは炭素ナノチューブを薄い膜状にしたもので、高い光透過率と耐熱性が利点として挙げられる。
エフエスティとカナトゥの協力は量産を目指して段階的に拡大してきた。カナトゥは2024年9月にエフエスティに初のCNT100 SEMI設備を供給し、該当設備と後処理設備は昨年7月に顧客の承認を受けた。昨年10月にはカナトゥがエフエスティにCNTペリクルの商業生産ライセンスを付与した。エフエスティは今年初めに新設備に必要な部品を先に注文し、今回設備本体まで発注した。カナトゥも今回の発注がエフエスティのCNTペリクル生産能力を増やすためのものであると説明した。
今回の投資はサムスン電子の2ナノファウンドリ量産準備と関連してさらに注目されている。エフエスティはサムスン電子とCNTペリクルを共同開発しており、サムスン電子は2021年にエフエスティに約430億円を投資し、株式を取得した。
また、エフエスティはサムスン電子のアメリカ・テイラーのファウンドリ工場に入るEUVペリクル関連設備も受注したとされる。ペリクル自動脱着設備(EPMD)、ペリクル膜・フレーム異物検査設備(EPIS)、搬送容器検査設備(EPODIS)などがこれに含まれる。これらの設備はCNTペリクルをサムスン電子の生産ラインで使用するために必要な設備である。
さらに、CNTペリクル生産に必要なカナトゥの設備が追加されることで、エフエスティの関連生産・設備能力が拡大する見込みである。業界ではエフエスティがサムスン電子の2ナノ生産拡大に合わせてCNTペリクル生産量を増やす準備に入ったと見ている。
マキシミリアン・スラビンスキー・カナトゥ最高経営責任者(CEO)は、今回の発注がCNT技術と生産設備に対する持続的な信頼を示すと同時に、先端半導体製造におけるCNTペリクルの市場機会を再確認したものであると述べた。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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