中国の企業が独自に開発したエマージョン（液浸）DUV装置の生産を開始し、今年5台を生産して顧客に納品する予定であると、アメリカのIT専門メディア「ザ・インフォメーション」が28日に報じた。報道によれば、今年の生産分はSMIC、華虹半導体、CXMTなど中国の主要半導体企業に供給される。中国企業がエマージョンDUVを製造するのは初めてであり、ザ・インフォメーションは今年5台が生産された後、来年には20台が出荷されると伝えている。
アメリカは2019年から最先端のEUV（極紫外線）露光機の中国への輸出を禁止しており、2023年からはエマージョンDUV装置の中国への輸出も禁止している。
エマージョンDUVは一度の露光作業（パターニング）で28nmプロセスの半導体を製造できる。複数回の回路露光を行うマルチパターニング作業を経れば、7nmプロセスまで対応可能である。ただし、マルチパターニングは歩留まりが低く、製造コストが高くなるという欠点がある。
エマージョンDUVはオランダの露光機メーカーASMLが2006年に市場に投入した。中国企業が製造している装置はASMLの2008年版エマージョンDUVと性能が類似していると分析されている。算術的にはASMLと中国の露光機技術の格差は18年である。
しかし、中国がDUVを国産化したことは相当な成果と評価されている。DUVの国産化は中国の28nm半導体プロセスの国産化が完成したことを意味する。また、中国はこれを基にEUV露光機の開発にも力を入れると予想されている。
中国のDUV装置メーカーの名前は公表されていない。しかし、中国国内ではDUV開発企業でありファーウェイの関連会社である宇量昇（ウーリャンシェン）が該当企業であるとの推測が出ている。昨年9月、英国のフィナンシャル・タイムズはSMICが宇量昇が製作したエマージョンDUVをテストしていると報じた。
宇量昇の株式50%は上海市政府傘下のベンチャーキャピタルが保有しており、残りの50%は中国の半導体装置メーカーであるサイキャリアが保有している。サイキャリアは深セン市政府傘下のベンチャーキャピタルが100%の株式を保有している。サイキャリアの中心メンバーはファーウェイの精密機器開発チームのメンバーであるため、中国業界ではサイキャリアをファーウェイの関連会社と見なしている。
一方、27日に上場した中国のDRAMメーカーCXMTは、初日に株価が476%急騰し、中国株式市場の時価総額1位企業となった。中国の証券業界とメディアは、今回のCXMTの上場を中国半導体産業の象徴的な出来事と評価している。単なる一企業のIPOを超え、中国半導体産業の成長、中国AI供給網の国産化、先端技術の自立に対する投資家の前向きな期待感が噴出したとの解釈がなされている。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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