エコプロエイチエンは公示を通じて、三星E&AとのRCS供給契約を締結したと27日に発表した。RCS（再生触媒システム）は、半導体プロセスで発生する過フッ化化合物（PFCs）を処理する大容量の温室効果ガス削減システムである。
PFCsはCO2に比べて数千倍から数万倍以上の高い地球温暖化係数（GWP）を持っており、半導体製造現場で必ず解決しなければならない重要な環境課題とされている。
エコプロエイチエンは触媒基盤の温室効果ガス削減技術を基にRCS分野で技術力を認められている。従来の熱分解処理システムは温室効果ガス削減のために1300～1400度の超高温プロセスが必要であったが、エコプロエイチエンのRCSは約750～800度で温室効果ガスを分解できるため、エネルギー使用量を約95%削減できる。
エコプロエイチエンは国内の半導体企業のグローバル生産拠点投資拡大の流れに合わせて、北米をはじめとする海外半導体企業への顧客を多様化し、グローバル事業領域を広げる計画である。
エコプロエイチエンの関係者は「今回の受注は当社の独自の温室効果ガス削減技術力と設備の信頼性が再確認された結果である」と述べ、「今後も差別化された技術を基に国内はもちろん、グローバル半導体市場に顧客を多様化していく」と語った。
なお、エコプロエイチエンは大気汚染防止、温室効果ガス削減、二次電池・半導体素材事業を展開する国内唯一の環境に優しいトータルソリューション企業である。1998年に母体であるエコプロ環境事業部からスタートし、2021年に人材分割で設立された。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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