SKハイニックスは国内事業場のエッチング工程に使われる「スクラバー」の温室ガス処理効率を99%まで引き上げることができる新技術開発に成功したと9日、明らかにした。
スクラバーは生産過程で発生する副産物を除去する装備で、多様な化学物質が使われる半導体工程で有害物質を精製し安全に処理する。
「処理効率99%」という数値は温室効果ガス排出量が計測器が測定できる最小量以下で検出されたという意味で、事実上排出がほとんどないという意味だ。
今回の成果はSKハイニックス炭素管理委員会12分科のうち、高効率・低電力スクラバー導入分科が導いた。
既存のスクラバーに水を注入し、可変出力システムを導入して効率を改善し、新規ベイ(Bay)型スクラバーを開発する方式で行われた。
ベイ型スクラバーは温室効果ガス処理に必要な装備台数を減らし、電力使用量と管理・運営費を減らし、来年の新しいファブM15Xのオープンに合わせて導入される予定だ。
今回改善した既存のスクラバーと導入予定の新規スクラバーは、いずれも温暖化誘発効果が大きい過フッ化化合物を分解する装備だ。
SKハイニックスのイ·ソンス炭素管理委員会スクラバー導入分科TLは“温室効果ガス直間接排出量を減らし、効果的な方式で「ネットゼロ2050」目標に寄与した”と評価した。
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