[SKマテリアルズ、フッ化水素ガスの量産開始]
ＳＫマテリアルズは最近、超高純度（純度99.999％）のフッ化水素（HF）ガスの量産を開始したと17日、明かにした。 超高純度のフッ化水素ガスは半導体製造に使われる洗浄ガスである。 半導体工程の微細化で、需要が急増しているが、海外依存度が100％に達する製品だった点で、国内量産は意味深い。
SKマテリアルズは昨年末、超高純度のフッ化水素ガスの試作品開発に成功した後、慶尚北道栄州（キョンサンブクド・ヨンジュ）工場内に15トン規模の生産施設を建設するなど国産化作業を進めてきた。 今回の量産を通じて2023年までに国産化率を70％まで引き上げるという目標だ。
フッ化水素とともに、高付加フォトレジスト領域でも国産化作業が本格化し、SKマテリアルズは最近、ハードマスク（SOC）とフッ化アルゴンフォトレジスト（ArF PR）の開発にも乗り出した。
半導体ウエハーの上にフォトレジスト（感光液）を塗って、露光装備で光を当てると、光の露出に反応して化学的性質が変わり、回路パターンが刻まれる。 SOCはフォトレジスト補助材でパターンが崩れないように保護してくれる素材だ。 フッ化アルゴンフォトレジストはフォトレジストの一種で、両製品とも超微細パターンの形成に使われる代表的な高付加製品だ。
特にフッ化アルゴンフォトレジストは海外依存度が90％に達し、製品の量産が本格化すれば、韓国の半導体メーカーに安定的な素材供給が可能になる。 Skマテリアルズは2021年に生産施設を竣工し、2022年から年5万ガロン規模のフォトレジスト生産を目標にしている。
SKシルトロンも昨年、米デュポン社から電気自動車に欠かせない素材の次世代電力半導体用のSiC（シリコンカーバイド）ウェハー事業を買収した。 シリコンカーバイドウェハー事業は米国・欧州の大手企業がグローバル市場を寡占しているため、SKグループのデュポン事業部買収は国内素材事業の地位を一段階高めた契機と評価されている。
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