中国の国営企業である愛晟納電子技術グループが、中国国内の露光装置の専門家を採用し、イマーシブDUVを製造しているとロイターが匿名の情報源を引用して29日に報じた。
愛晟納は2023年8月に設立された企業で、資本金は70億元（約1兆5000億ウォン）である。上海電機（SMEE）が50%の株式を保有し、上海市政府傘下の上海国際信託も50%を保有している。両者とも国有企業である。愛晟納はSMEEの露光装置開発チームと宇量昇の露光装置開発チームを採用したとロイターは報じた。SMEEと宇量昇はともに露光装置を開発している企業であり、宇量昇はファーウェイの関連会社である半導体装置企業、シンカイライの子会社と見なされている。
中国が国家レベルでDUV装置の開発を加速するために、2023年に愛晟納を設立し、SMEEと宇量昇の開発陣を統合したと分析される。
先にアメリカのITメディア「ザ・インフォメーション」は28日の報道で、中国のある半導体装置企業が浸漬DUVを製造しており、今年5台、来年20台を出荷する予定であると伝えた。この企業の名前は報じられていない。
一方、中国の浸漬DUV製造が事実であれば、これは歴史的な技術的突破と評価されている。シンガポール経営大学のフー・ファンジェン准教授は、連合報とのインタビューで「中国がアメリカの技術的圧力を克服する画期的な突破口となるだろう」と意義を述べた。
また、シンガポールに本社を置くアドバンテージリサーチコンサルティングのチャン・パン創設者は「中国がDUVを生み出すなら、中国が7ナノ半導体プロセス技術を突破するのは時間の問題だ」とし、「中国が露光装置技術の開発を加速すれば、アメリカ主導のグローバル半導体エコシステムに実質的な脅威を与えることになる」と説明した。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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