10日、消防当局とSKハイニックスによると、同日午後3時58分頃、清州SKハイニックス第4キャンパスで機器を移動していた作業者2名が、毒性化学物質である水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）と推定される液体と接触し、病院に搬送された。搬送時には特異な症状は見られなかったという。
TMAHは半導体やディスプレイ製造プロセスでシリコンウェーハの洗浄や現像工程に広く使用される強アルカリ性化学物質である。皮膚や目、呼吸器に接触すると深刻な損傷を引き起こし、単純な皮膚接触でも死亡に至る可能性がある。
関係当局は、作業者が運搬していた機器からTMAHが漏れたと推定し、対応にあたったが、一次成分測定の結果、毒性物質は検出されなかったと伝えられている。機器を洗浄した後、完全に乾燥しない状態で運搬する過程でTMAHが水に混ざって落ちた可能性を考慮し、正確な経緯を調査しているとのことである。
最近、SKハイニックス清州事業所ではさまざまな事故が相次いでいる。先月1日にはM15工場とM15X工場を結ぶ6階ガスルームで火災が発生し、微量のフッ素が漏出する事故が起きた。また、先月27日にはM11工場内の半導体加工設備で火花が飛び、従業員が約1時間避難した。さらに、1月19日には工場で配管作業を行っていた作業者5名が上部配管から落ちた化学物質であるリン酸に接触する事例があった。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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