SKハイニックス"エッチング工程用スクラバー、温室効果ガス処理効率99%"
SKハイニックスは国内事業場のエッチング工程に使われる「スクラバー」の温室ガス処理効率を99%まで引き上げることができる新技術開発に成功したと9日、明らかにした。 スクラバーは生産過程で発生する副産物を除去する装備で、多様な化学物質が使われる半導体工程で有害物質を精製し安全に処理する。 「処理効率99%」という数値は温室効果ガス排出量が計測器が測定できる最小量以下で検出されたという意味で、事実上排出がほとんどないという意味だ。 今回の成果はSKハイニックス炭素管理委員会12分科のうち、高効
2024-09-09 16:36:44