DBハイテックは国家ナノファブ統合プラットフォーム「モアファブ」に微細電子機械システム（MEMS）プロセス装置を移転する。企業が使用していた製造装置を公共研究施設に提供し、研究機関や中小ファブレスの試作品製作基盤を広げることを目的としている。
DBハイテックは6日、忠北音声の常宇キャンパスで科学技術情報通信部とモアファブ関係者が出席する中、半導体装置移転協定を締結したと発表した。
モアファブは地域別国家ナノファブを連携させ、半導体研究開発と試作品製作を支援する統合プラットフォームである。研究者が必要な装置とプロセスを機関ごとに探さなければならない不便を減らし、ファブ間の装置活用度を高めることに焦点を当てている。
DBハイテックは高温熱処理装置1台とエッチング装置2台など、MEMSプロセス用装置3台を移転する。これらの装置はモアファブ参加機関であるナノ総合技術院とナノ融合技術院に設置され、研究開発と試作品製作に活用される予定である。
MEMSは半導体プロセスを利用してセンサーと微細機械構造物を同時に実現する技術である。自動車やモバイル機器、医療機器、産業用センサーなどへの適用範囲が広がっており、初期試作品を製作できる公共インフラの重要性が評価されている。
今回の装置移転は、科学技術情報通信部とサムスン電子・SKハイニックス・DBハイテックが昨年3月に締結したモアファブ支援協定が実際のプロセス装置の拡充につながった事例である。
国家ナノファブは大学や研究機関だけでなく、自社生産施設を持たないファブレスや素材・部品・装置企業がプロセス技術を検証する基盤として活用される。装置が追加されることで、MEMS分野のプロセス開発と製品商用化に必要な試験期間が短縮されると見込まれている。
DBハイテックは装置移転にとどまらず、半導体製造技術とファブ運営に必要な助言も提供する計画である。生産現場で蓄積したプロセス管理の経験を公共研究インフラと共有し、システム半導体エコシステム支援の範囲を広げる方針である。
DBハイテックの関係者は「MEMSプロセス用装置の寄贈を通じて国家ナノファブ支援を拡大する」とし、「半導体製造技術とファブ運営の助言も継続的に提供する」と述べた。
* この記事はAIによって翻訳されました。
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