[ポスコ、半導体用向け希少ガス「ネオン」生産設備や技術の国産化に成功]
ポスコが半導体向け希少ガス「ネオン(Ne)」の生産設備や技術の国産化に成功した。
ポスコは12日、光陽製鉄所の酸素工場で、「ネオンの生産設備の竣工および出荷式」を開催したと明らかにした。
ネオンは空気中に0.00182%しか含まれていない希少ガスで、半導体露光工程で使用されるエキシマレーザーガス(Excimer Laser Gas)の原材料の一つだ。
ポスコは半導体向け特殊ガス専門企業であるTEMCと協力し、2019年末から約2年にわたってネオン生産の完全国産化を推進してきた。製鉄工程向けガス生産に使用中の大型空気分離装置を活用し、光陽製鉄所の酸素工場とTEMCの技術力を基盤に、韓国初のネオン生産設備を独自開発した。また、これを通じて抽出したネオンをTEMCが独自の技術で精製した後、完成品のエキシマレーザーガスまで生産する全工程の国産化を完成した。
今回竣工した設備は高純度ネオン基準の年間約2万2000Nm3(ノーマル立方メートル)を生産することができる。ポスコは国内の需要の16%ほどを充足するものと予想している。ポスコは昨年末、試運転を通じ、製品の品質評価に完了しており、今年、設備を竣工し、本格的な商業生産に入ることになった。
ポスコは既存の設備とTEMCの技術力を活用し、ネオンの生産設備と供給システムを新たに備えており、TEMCは成功的な課題の遂行に対するインセンティブで、初期投資金全額の補償を受け、ポスコから生産されるネオンの長期購買権を確保した。
<亜洲日報の記事等を無断で複製、公衆送信 、翻案、配布することは禁じられています。>
