[SKハイニックス、半導体工程に「AIソリューション」導入…収率向上]
SKハイニックスが半導体工程に人工知能(AI)ソリューションを導入し、生産運営の効率と収率改善に乗り出した。
SKハイニックスは昨年12月から仮想計測AIソリューション「パンオプテスVM」を量産ファブ(工場)に導入し使用していると10日、明らかにした。 これは産業AI専門スタートアップのガウスラボが発売したソフトウェア製品だ。 同社は昨年11月、SKハイニックスが投資したところだ。
パンオプテスVMは、製造工程の結果をセンサーデータを活用して予測する仮想計測AIソリューションだ。 製造工程中に起こるすべてのことをモニタリングする。
まず、該当ソリューションを薄膜蒸着工程に導入した。 薄膜蒸着工程はウェハーの上に薄膜をかぶせる製造核心工程だ。 薄膜の厚さと屈折率は半導体の品質と直結する。 しかし、微細な薄膜でこれを計測する過程に多くの時間と資源がかかり、全数計測するのが非常に難しい。
これを解決するために薄膜蒸着工程にパンオプテスVMを導入したというのが会社側の説明だ。 これを通じ、工程散布(生産された製品の品質変動の大きさ)平均21.5%改善および収率まで向上する効果を得た。
今後、SKハイニックスとガウスラボは薄膜蒸着工程以外の工程にもパンオプテスVM導入を検討している。
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