サムスン電子の李在鎔（イ·ジェヨン）会長とSKグループの崔泰源（チェ·テウォン）会長が尹錫悦（ユン・ソンニョル）大統領のオランダ歴訪に合流し、半導体装備業界「スーパー乙」と呼ばれるASMLを訪れた。 今回の訪問で、韓国政府と企業はオランダ・ASMLと計3件の半導体分野協力MOUを締結し、激化するグローバル超微細工程競争で優位を占めることができる踏み台を用意した。
13日、李会長と崔会長はオランダ国賓訪問中の尹大統領とASML本社とクリーンルームを訪問した。 政府はこの日、△人材養成のための韓-オランダ先端半導体アカデミー新設 △サムスン電子-ASML、「次世代半導体製造技術R&Dセンター」韓国設立 △SKハイニックス-ASML、「EUV用水素ガスリサイクル技術開発」など3件のMOUが締結されたと明らかにした。
これを受け、サムスン電子とASMLは1兆ウォンを投資してR&Dセンターを設立し、次世代EUV基盤の超微細工程を共同開発する。 SKハイニックスはASMLと水素ガスを活用した技術を開発し、電力使用量の減少による費用削減を引き出す計画だ。 今回導出された3件のMOU締結は、グローバル半導体覇権競争の中で、韓国企業の競争力を高める協力礎になる見通しだ。
ASMLは半導体超微細工程の核心装備であるEUV(極紫外線)露光装備を全世界で唯一生産する企業だ。 露光工程は微細で複雑な電子回路を半導体ウェハーに描き入れる技術で、EUV露光装備を活用すれば、短い波長で細かく回路を描くことができる。 特に、7nm(1nm=10億分の1m)以下の超微細工程にはEUV露光装備が必ず必要だ。 すなわち、EUV装備の確保がメーカーの生産能力および収率と直結するわけだ。 一般的に半導体装備業者が「乙」と呼ばれるが、ASMLが「スーパー乙」と呼ばれる理由だ。
先端半導体需要が増加するにつれ、EUV露光装備需要も急増しているが、供給が需要に追いつけない状況だ。 これに対し、グローバル半導体業界はEUV露光装備を確保するための競争が次第に激しくなっている。 特に、ファウンドリ業界1位のTSMCと競争しているサムスン電子の立場ではEUV装備の調達が急がれる。
現在、ASMLが生産するEUV装備の大部分がTSMCに供給される実情だ。 業界推算のEUV露光装備保有台数はサムスン電子が約40台、TSMCは約100台以上だ。 これを足がかりに、TSMCはファウンドリ市場内でサムスン電子との格差を徐々に広げている。 現在、高級ファウンドリ市場でTSMCのシェアは66%、サムスンは25%だ。
これまでTSMCとサムスン電子が二分してきたファウンドリ市場にインテル、SKハイニックス、マイクロンなどが参戦し、EUV装備確保戦は激化する見通しだ。 EUV装備の組み立てだけに数ヶ月がかかるうえ、1年に作れる数量が限られており、韓国企業が市場主導権を握るためにはASMLとの協力が必須だという分析だ。
実際、来年と予想される半導体アップターンを狙って半導体メーカー間の競争が真っ最中だ。 大々的な施設投資が端的な例だ。 サムスン電子は2025年に次世代ハイ-NA EUV物量5台を確保したものと知られ、SKハイニックスは2025年までに4兆7500億ウォン規模に達するASML装備を購入すると明らかにしている。 インテルはオレゴン半導体工場に次世代EUV装備を導入する計画であり、TSMCは2025年アリゾナファブオープンを控えている。
これに対し、サムスンとSKはこれまでASMLと緊密な協力関係を維持することに力を入れてきた。 サムスン電子は2012年、ASMLの持分を所有した 最近、一部売り渡したが、業界ではASML装備投資に該当金額を使うものと見ている。 それだけでなく、李在鎔会長が直接2020年と昨年6月にASMLを訪問しており、昨年11月にオランダのマルク·ルター首相が公式訪韓した当時もASMLのピーター・ベニンク最高経営責任者（CEO）と茶談会を行った。 崔泰源会長も昨年11月、次談会の席に同席し、半導体事業などについて話し合ったとされ、2015年にはASML本社を訪問した。
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