SKハイニックスが全社組織「炭素管理委員会」を発足し、2050年までに炭素の純排出量を「0」にする炭素中立(ネットゼロ)を達成するために計画を立てて積極的に推進すると25日、明らかにした。
炭素管理委員会は12の細部分科を通じ、Scope 1、2、3別の温室効果ガス排出低減活動を推進している。 Scopeは温室効果ガス直接排出量（Scope 1）とエネルギー購買による間接排出量（Scope 2）、事業活動で発生するその他の間接排出量（Scope 3）に分けられる。 炭素管理委員会は△ネオンガスリサイクル技術開発 △代替ガス開発 △高効率・低電力スクラバー開発など、2050ネットゼロ達成するための様々な成果を出した。
「低電力ポンプ導入分科」では「低電力ポンプ開発および既存ポンプ改善」プロジェクトを進めた。 ポンプは半導体の品質および収率を決定する核心的な役割をする装備で、微細化される半導体工程で高真空環境を作って、不純物を除去する。 実際のポンプ駆動のために使われる電力は、ファブ(FAB)全体消費電力の15%前後だ。
該当プロジェクトは、新しい低電力ポンプの開発とゾーン運営中のポンプの低電力運営を通じ、ポンプ駆動による電力消費を減らし、炭素排出を減らすなど、Scope 2排出量を削減することが目標だ。
低電力ポンプ導入分科は、モーター、素材、構造などの変更と新規アーキテクチャの導入を通じ、新規低電力ポンプの開発に成功した。 実際、新規低電力ポンプの導入のため、2024年第1四半期から評価を開始し、第3四半期からは新規投資を通じて既存運営中のファブに導入している。 建設中のM15Xファブと龍仁クラスターには評価が完了した工程に限り、新規低電力ポンプを全量導入する予定だ。
現在建設中の新規ファブの場合、既存のポンプを使用した場合、電力消費量対比39.7%ほど減らすことができる。
今回のプロジェクトでは既に運営中のポンプの消費電力低減のための改善も進めた。 議論の末、ポンプの回転速度(RPM)を下げ、電力消費を減らす方法が選択された。
エッチング工程で運営中の一部ポンプの回転速度を下げてテスト運営した結果、既存運営ポンプの回転速度を下げても工程収率には有意な差が発生しなかった。 現在はM15、M16ファブでそれぞれ工程評価を続けている。
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